晶圓生產完成後│↟│☁,需要對其進行各種引數的檢測│↟│☁,在檢測的過程中│↟│☁,需要在不同溫度下進行測試│↟│☁,晶圓測試用溫控裝置(晶圓測試溫控系統)是高精度│↟│☁,高解析度│↟│☁,高穩定性的控制裝置·✘│╃。
晶圓溫度管理系統