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矽基半導體材料••·☁◕，以矽材料為基礎發展起來的新型材料☁·↟。包括絕緣層上的矽材料▩☁↟✘、鍺矽材料▩☁↟✘、多孔矽▩☁↟✘、微晶矽以及以矽為基底異質外延其他化合物半導體材料等☁·↟。