GaN快速退火爐使用方便▩▩•,易於操作▩▩•,加熱元件採用紅外燈管▩▩•,加熱速度快▩▩•,節省時間₪▩▩↟·。滑動法蘭簡化了樣品的裝卸過程▩▩•,操作方便▩▩•,可快速獲得實驗結果▩▩•,省去了重複的法蘭安裝過程▩▩•,減少了爐管安裝造成的損壞₪▩▩↟·。那麼你知道它該有怎樣的配置和特點嗎╃◕?
GaN快速退火爐適用於CVD工藝▩▩•,例如碳化矽塗層▩▩•,陶瓷基板電導率測試▩▩•,ZnO奈米結構的受控生長▩▩•,陶瓷電容器(MLCC)氣氛燒結和其他實驗₪▩▩↟·。此CVD系統配置·•✘☁╃:1200度開放式真空管式爐(可選單溫度區▩▩•,雙溫度區)₪▩▩↟·。多通道質量流量控制系統▩▩•,真空系統(可以選擇中真空或高真空)₪▩▩↟·。
1☁₪、控制電路採用模糊PID程式控制技術▩▩•,具有溫度控制精度高▩▩•,熱慣性低▩▩•,溫度超調▩▩•,效能可靠▩▩•,操作簡單的特點₪▩▩↟·。
2☁₪、氣路快速連線法蘭結構採用公司*的智慧財產權設計▩▩•,提高了操作的便利性₪▩▩↟·。
3☁₪、中真空系統具有自動控制真空度上限和下限的功能▩▩•,高真空系統使用高壓耐衝擊分子泵₪▩▩↟·。
GaN快速退火爐易於操作▩▩•,加熱元件採用紅外燈管▩▩•,加熱速度快▩▩•,節省時間₪▩▩↟·。滑動法蘭簡化了樣品的裝卸過程▩▩•,操作方便₪▩▩↟·。實驗結果可以很快獲得▩▩•,並且省去了重複的方法▩▩•,藍色的安裝過程減少了由於安裝引起的爐管損壞₪▩▩↟·。