Tcwafer熱偶則是直接鑲嵌於晶圓表面的溫度感測器☁│，可以實現晶圓表面溫度的實時測量₪₪。藉助於放置在晶圓表面特定位置之溫度感測器☁│，可獲得這些特定位置的真實溫度測量值以及整天晶圓溫度分佈；同時☁│，也可利用此感測器來持續監控在熱處理工程中晶圓暫態溫度變化☁│，例如•·₪：升溫☁│，降溫過程及延遲週期等·▩！
Tcwafer熱偶設計和製造溫度測量解決方案☁│，保證為您提供靈敏度·◕╃▩、快速響應和一致的精度₪₪。並及時提供其創新的Tcwafer熱偶解決方案₪₪。
Tcwafer熱偶則是直接鑲嵌於晶圓表面的溫度感測器☁│，可以實現晶圓表面溫度的實時測量₪₪。藉助於放置在晶圓表面特定位置之溫度感測器☁│，可獲得這些特定位置的真實溫度測量值以及整天晶圓溫度分佈；同時☁│，也可利用此感測器來持續監控在熱處理工程中晶圓暫態溫度變化☁│，例如•·₪：升溫☁│，降溫過程及延遲週期等·▩！（溫度的均勻與否☁│，良率）
溫度範圍•·₪：
低溫•·₪：-150 to 700°C（矽基膠粘劑）
高度•·₪：-150 to 1,200°C（焊接設計）
熱電偶選型•·₪：
● Type K (精度級別±1.1°C or 0.4%) ☁│，溫度範圍 -270 to 1,372°C
● Type N (
精度級別±1.1°C or 0.4%)☁│， 溫度範圍 -270 to 1,300°C
● Type E (
精度級別±1.0°C or 0.4%) ☁│，溫度範圍 -270 to 1,000°C
● Type T (
精度級別±0.5°C or 0.4%) ☁│，溫度範圍 -270 to 400°C
● Type R/S (
精度級別±1.5°C or 0.25%) ☁│，溫度範圍 -50 to 1,768°C
晶圓材質•·₪：
矽·◕╃▩、AlTiC·◕╃▩、玻璃·◕╃▩、陶瓷·◕╃▩、碳化矽和其他客戶提供的白板的·◕╃▩、塗層的或圖案基底₪₪。可按客戶要求定製基板·◕╃▩、形狀和尺寸₪₪。
主要規格•·₪：
4寸☁│，6寸☁│，8寸☁│，12寸
擴充套件線•·₪：可選絕緣層材質☁│，接頭型別₪₪。密封的扁平電纜☁│，可在大氣中打到10-7託₪₪。長度由客戶選
感測器引線•·₪：長達40英尺–可定製,
被覆材質•·₪：石英 陶瓷纖維 TEF
絕緣材料•·₪：石英☁│，聚四氟乙烯☁│，二氧化矽☁│，陶瓷☁│，聚醯*胺
線規•·₪：20 AWG – 40 AWG
a）主要型號有k/t/r(根據測溫範圍以及精度要求選型)
k型適合•·₪：0°c -600°c☁│，精度級別為±1.1°c or ±0.4%
t型適合•·₪：200°c以下☁│，精度級別為±0.5°c or ±0.4%
r型適合•·₪：0°c-1100°c☁│，精度級別為0.1%
b)產品主要規格有•·₪：2寸/4寸/6寸/8寸/12寸
c)溫接點可生產1~24點（但矽片越小測溫點儘量減少☁│，因為焊點需要打孔存在應力☁│，另外需要排線☁│，測溫點越多難度越高）
d)使用環境為普通或者真空環境
e）晶圓材質•·₪：矽片或藍寶石襯底片
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