真空快速退火爐中常用的幾種真空系統基本引數

真空快速退火爐中常用的幾種真空系統基本引數

真空快速退火爐品種多·•↟▩，對真空系統的要求不一樣☁▩▩。就真空度而言·•↟▩，有低真空╃☁·↟₪、中真空和高真空系統☁▩▩。下面介紹幾種常用的真空快速退火爐真空系統☁▩▩。

1．低真空系統

它適用於真空度在1333～2Pa範圍的真空熱處理爐·•↟▩，如預抽低真空井式爐☁▩▩。大多以油封式旋轉機械泵為主泵的系統☁▩▩。

2．中真空系統

它適用於真空度在1.333～3×10Pa範圍的真空熱處理爐☁▩▩。中真空系統在真空熱處理爐中應用最廣泛·•↟▩，其通常有兩級真空泵機組組成☁▩▩。初級泵多采用旋轉機械泵或滑閥式機械泵·•↟▩，主泵為機械增壓泵(羅茨泵)或油增壓泵☁▩▩。

3．高真空系統

它適用於真空度在1.333×1O～6．6×10Pa範圍的真空熱處理爐·•↟▩，如真空退火爐╃☁·↟₪、真空釺焊爐☁▩▩。其通常有三級真空泵機組組成·•↟▩，主泵通常採用油擴散泵╃☁·↟₪、離子泵·•↟▩，初級泵大都也是採用旋轉機械泵或滑閥式機械泵·•↟▩，前級泵為機械增壓泵(羅茨泵)或油增壓泵☁▩▩。

真空系統的基本引數

真空熱處理爐的真空系統主要引數有極限真空度╃☁·↟₪、工作真空度╃☁·↟₪、抽氣時間╃☁·↟₪、抽氣速率╃☁·↟₪、漏氣率(壓升率)☁▩▩。

極限真空度真空爐在空爐╃☁·↟₪、冷態下所能達到的最高真空度稱為極限真空度☁▩▩。極限真空度是考核真空爐各零部件的加工和裝配質量╃☁·↟₪、真空機組的抽氣能力與極限真空╃☁·↟₪、爐體的密封與漏氣和真空衛生情況的重要指標☁▩▩。通常·•↟▩，真空爐的極限真空度應低於主泵一個數量級左右☁▩▩。