快速退火爐RTP-3-01系列
採用紅外輻射加熱技術☁✘▩，可實現1吋(選配2吋)樣品快速升溫和降溫☁✘▩，同時搭配超高精度溫度控制系統☁✘▩，可達到較好的溫場均勻性☁✘▩，對材料的快速熱處理(RTP)·▩↟╃₪、快速退火(RTA)·▩↟╃₪、快速熱氮化(RTN)·▩↟╃₪、快速熱氧化(RTO)及金屬合金化等研究和生產起到重要作用╃₪☁◕✘。
產品特點
● 快速加熱和降溫: 最高可控升溫速率可達50 ℃/s☁✘▩，特定條件下可以達到100 ℃/s╃₪☁◕✘。冷壁水冷設計能夠達到較大的降溫速率☁✘▩，特定條件下可達30 ℃/s╃₪☁◕✘。
● 精確控溫: 採用工業級溫控器進行PID精確控溫☁✘▩，目標溫度與設定溫度曲線一致性高☁✘▩，可實現室溫至1200 ℃的溫度精確控制╃₪☁◕✘。
● 適應多種工藝環境: 滿足多種工藝氣氛下的熱處理（氮氣·▩↟╃₪、氬氣等）╃₪☁◕✘。同時☁✘▩，透過選配真空泵☁✘▩，可以在真空條件下進行退火☁✘▩，最高真空度可達10-3Pa╃₪☁◕✘。
● 配備觀察視窗: 透過觀察視窗☁✘▩，可以實時觀察熱處理過程中的樣品變化╃₪☁◕✘。同時☁✘▩，可以結合相關測試方法進行原位測試分析╃₪☁◕✘。
● 超高安全係數: 採用爐壁超溫報警系統和冷卻水流量報警系統☁✘▩，全方位保障儀器使用安全╃₪☁◕✘。
● 國產退火爐↟☁◕☁：擁有自主研發技術和製造能力☁✘▩，能快速反應客戶售後需求╃₪☁◕✘。