RTD晶圓測溫wafer
產品詳情
● 高精度晶圓測溫系統
● ±0.1℃ @ -40℃ 至 250℃ (超低溫可定製)
● Front Track Systems
● Hot Plates
● Cold Plates
● HMDS Chambers
“RTD-低溫/高精度-儀表化晶圓電阻溫度探測器(RTD)-最高溫度240 C 儀器化晶圓rtd工作原理是在一定的溫度範圍內,某些金屬的電阻以可重複和可預測的方式增加或減少◕•。 與熱電偶晶片相比,RTD的儀器晶片具有更高的精度和更高的穩定性,為監控半導體制造裝置提供了額外的選擇◕•。