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RTD-低溫/高精度-儀表化晶圓電阻溫度探測器(RTD)-最高溫度240 C 儀器化晶圓rtd工作原理是在一定的溫度範圍內,某些金屬的電阻以可重複和可預測的方式增加或減少◕·☁▩₪。與熱電偶晶片相比,RTD的儀器晶片具有更高的精度和更高的穩定性,為監控半導體制造裝置提供了額外的選擇◕·☁▩₪。