Ti金屬沉積後RTP氮化反應

作者☁₪：admin 瀏覽量☁₪：668 來源☁₪：本站時間☁₪：2021-10-22 18:29:26

資訊摘要☁₪：

RTP技術也用於熱氮化反應過程•₪↟·，此過程中氨氣將和鈦金屬反應並在表面形成氮化鈦作為阻擋層及鋁金屬化的附著層✘•₪。化學反應為☁₪：NH3+Ti—»TIN+3/2H當鈦金屬沉積完成後•₪↟·，RTA反應室的溫度在氮氣環境中迅速升高•₪↟·，達到穩定時將晶圓送入反應室•₪↟·，接著關閉氮氣並開啟氨氣•₪↟·，當氮化反應過程結束後就立刻關閉氨氣並再次開啟氮氣✘•₪。接著機器

RTP技術也用於熱氮化反應過程•₪↟·，此過程中氨氣將和鈦金屬反應並在表面形成氮化鈦作為阻擋層及鋁金屬化的附著層✘•₪。化學反應為☁₪：
NH3+Ti—»TIN+3/2H

12寸半自動裝置圖片.jpg

當鈦金屬沉積完成後•₪↟·，RTA反應室的溫度在氮氣環境中迅速升高•₪↟·，達到穩定時將晶圓送入反應室•₪↟·，接著關閉氮氣並開啟氨氣•₪↟·，當氮化反應過程結束後就立刻關閉氨氣並再次開啟氮氣✘•₪。接著機器手會將晶圓從反應室中取出並送入冷卻室•₪↟·，最後晶圓被放置在一個塑膠晶圓盒中•₪↟·，這個過程的溫度大約為650℃✘•₪。下圖說明了鈦氮化反應的過程✘•₪。