專業的溫度管控•·◕↟▩，分別管控RT~1000℃與1000℃以上溫度
更持久的高溫持溫能力•·◕↟▩，1000℃持溫可達30min
穩定的1250℃控溫能力
超高的溫度精確度◕◕▩：溫度精度可達±1℃
強大的溫場管控能力◕◕▩：溫度均勻度≤±1%
優秀的溫度重複性◕◕▩：溫度重複性≤±2℃
ITO鍍膜後的退火製程
離子注入後的退火製程
合金化退火製程
以及更多的快速退火製程能力
專業的TC Wafer測溫系統為RTP製程提供精確控溫保障
成熟測溫系統軟體•·◕↟▩，具備Mapping功能•·◕↟▩，溫度情況一目瞭然
多尺寸wafer可供選擇•·◕↟▩，滿足客戶不同wafer尺寸控溫要求
廣東瑞樂半導體科技有限公司
Guangdong Ruile Semi technology Co.,Ltd
瑞樂科技成立於2016年•·◕↟▩，主營業務為半導體前道晶圓製造製程裝置的開發₪·↟、製造╃↟◕☁◕。公司主要產品為快速退火爐與TC Wafer晶圓測溫系統╃↟◕☁◕。公司的解決方案包括創新的控溫與檢測裝置及生產工藝₪·↟、控制軟體和服務╃↟◕☁◕。公司總部位於廣東省佛山市南海區萬洋眾創城╃↟◕☁◕。
瑞樂科技專注於晶圓控溫及檢測系統•·◕↟▩，以是一家高精度溫度系統方案供應商╃↟◕☁◕。為IC積體電路及化合物半導體₪·↟、MEMS晶片₪·↟、LED晶片等特色工藝客戶提供裝置服務╃↟◕☁◕。
瑞樂科技以創新₪·↟、專注₪·↟、誠信正直₪·↟、團隊合作等核心價值觀•·◕↟▩，深耕於半導體裝置行業•·◕↟▩，一直致力於為國家半導體裝置及控溫技術國產化做出貢獻╃↟◕☁◕。
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